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▲(왼쪽부터)신유빈 석사과정 학생연구원, 마호진 선임연구원 등 재료연 연구팀 투명 내플라즈마성 고엔트로피 세라믹 세계 최초 개발 한국재료연구원(KIMS, 원장 최철진)이 투명한 내플라즈마성 고엔트로피 세라믹을 세계 최초로 개발하며, ..

2025.01.15by 배종인 기자

유전체 공정比 2.5배 식각률, 0.1% 미만 프로파일 편차 새로운 식각가스 사용, 탄소배출량 최대 90% 까지 감축 램리서치가 양산성이 검증된 극저온 식각 기술을 통해 메모리 칩 제조사들이 목표로 하고 있는 2030년 1,000단 3D 낸드 양산을 실현하는데 ..

2024.08.01by 배종인 기자

ACM 리서치 ‘베벨 에치’ 식각 장비 3분기 출시 웨이퍼 수율 향상 및 화학 물질 사용 저감 위해 에지 식각 및 세정 기능을 단일 장비에서 제공 IC 제조 공정 중 3D NAND, DRAM, 고급 로직 공정에서 웨이퍼 에지 박리(wa..

2021.08.26by 이수민 기자