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식각가스
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백광산업, 새만금에 반도체용 특수가스 총 1조5백억 투자

  식각가스·실리콘 전구체 등 핵심 소재 생산 백광산업이 새만금 산단에 1차 3,000억원에 이어 2차로 7,500억원을 추가 투자하며, 반도체 및 디스플레이 핵심 소재 생산에 본격 나선다. 백광산업, 새만금개발청, 전북..

2024.10.30by 배종인 기자

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램리서치, 극저온 식각 기술로 3D 낸드 1천단 개척

유전체 공정比 2.5배 식각률, 0.1% 미만 프로파일 편차 새로운 식각가스 사용, 탄소배출량 최대 90% 까지 감축 램리서치가 양산성이 검증된 극저온 식각 기술을 통해 메모리 칩 제조사들이 목표로 하고 있는 2030년 1,000단 3D 낸드 양산을 실현하는데 ..

2024.08.01by 배종인 기자

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솔머티리얼즈, 새만금 547억 투자

  올 10월 착공, 반도체용 특수가스 3만톤 생산 솔머티리얼즈가 새만금에 547억원을 투자해 생산시설 확대에 나선다. 솔머티리얼즈는 14일 새만금개발청(청장 김규현), 전라북도, 군산시, 한국농어촌공사와 새만금 산단에 ‘산업..

2023.03.14by 배종인 기자

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[세미콘 코리아 2023]케이씨인더스트리얼, D2 공급 본격화

▲KC그룹 부스 전경   지난해 5월부터 생산 시작, 올해 본격 공급 年 15톤 규모 생산, 월 1,000병 공급 가능 케이씨인더스트리얼(KC industrial, 대표이사 이한기)이 주력 품목인 헬륨 이외에도 반도체 소재인 중수소(D2,..

2023.02.07by 배종인 기자

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삼성 新환경경영전략 7조원 투자...저전력·가스저감·자원순환 강조

▲삼성전자 평택사업장 내부 (사진-삼성전자)   공정가스 저감·재생에너지 확대 저전력·전력절감 제품 개발 박차   삼성전자가 새로운 환경경영전략을 15일 발표했다. 2050년까지 탄소중립 달성을 목..

2022.09.15by 권신혁 기자

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머크, 마이크론과 지속가능한 가스 솔루션 개발 협력

▲머크 연구개발 팀이 개발한 지구온난화지수(GWP)가 낮은 대안적인 에칭 가스에 대해 마이크론과 함께 공성 성능 검증을 테스트 중에 있다. (사진 - 머크)   머크社 개발 대안적 에칭 가스, 마이크론서 테스트 반도체 공정에 사용되는 에칭 가스..

2022.08.04by 권신혁 기자

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2022 반도체 신기술·신소재 트렌드 공유

  2022 e4ds 반도체 트렌드 데이 10일 코엑스 개최 GaN·SiC 반도체 및 차세대 3D 적층 등 세션 마련   반도체 산업의 눈부신 성장과 함께 차세대 공정에서 첨단기술 경쟁이 치열해지고 있다. 자율주행&middo..

2022.05.20by 권신혁 기자

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