인테그리스·젤레스트 맞손, 프리커서 안정공급 목적 양산 성공시 無세정·소재 사용감소, 습식 대체 전망 램리서치가 EUV 리소그래피용 건식(드라이) 포토레지스트 개발을 위해 인테그리스, 미쓰비시 케미칼 그룹 회사인 젤레스트와 손을 맞잡았다..
2022.07.20by 배종인 기자
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