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인테그리스(Entegris, Inc.)
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램리서치, EUV 건식 레지스트 ‘잰걸음’

인테그리스·젤레스트 맞손, 프리커서 안정공급 목적 양산 성공시 無세정·소재 사용감소, 습식 대체 전망 램리서치가 EUV 리소그래피용 건식(드라이) 포토레지스트 개발을 위해 인테그리스, 미쓰비시 케미칼 그룹 회사인 젤레스트와 손을 맞잡았다..

2022.07.20by 배종인 기자

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