2026.06.17by 배종인 기자
한국기계연구원(KIMM) 김형우 선임연구원 연구팀이 6월 17일 원자 한 층 두께의 차세대 2D 반도체를 AI가 스스로 분석·제어하는 플라즈마 기반 통합 공정 지능화 시스템을 개발했다고 밝혔다. 반도체 미세화로 원자층 단위 정밀 제어가 중요해진 가운데, 연구팀은 플라즈마 공정과 진단을 하나로 통합하고 AI를 접목해 공정 데이터를 실시간 해석하고 조건을 자동 조정하도록 구현했다. 이로써 사람의 개입 없이 공정 상태를 진단·대응해 차세대 반도체 공정의 정밀도와 자율성을 끌어올린다.
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