[편집자주]국가첨단전략산업특화단지 공모에서 반도체 업종에 15개 지자체가 몰렸다. 신청이 마감된 현재 심사단계에 들어가며 반도체 단지 유치 경쟁이 본 게임에 돌입한 상황이다. 수많은 지자체 저마다의 콘셉트와 아이디어로 유치전략 비전을 밝힌 가운데 김보라 안성시장을 만나..
EUV 기술이 첨단 노드에 적용되며 반도체 스케일 다운이 3나노미터대에 이르렀다. 회로 미세화에 따른 모세관 현상과 파티클 문제는 수율에 악영향을 끼치며 디펙트 관리를 위한 세정공정에서의 기술개발 경쟁이 치열하다. 이에 최근 차세대 반도체 세정기술이라고 불리는 초임계 ..