▲기계연 김형우 박사연구팀

AI가 반도체 공정 상태 진단

한국기계연구원(KIMM)이 원자 한 층 수준의 매우 얇은 차세대 2D 반도체를 인공지능(AI)이 스스로 분석하고 제어하는 플라즈마 기반 통합 공정 기술을 내놨다. 반도체 소자가 미세화하면서 원자층 단위의 정밀 공정 제어 필요성이 커지는 가운데, 사람이 일일이 개입하지 않고 공정 상태를 진단해 대응하는 방식이라는 점에서 의미가 있다.

기계연 반도체장비연구센터 김형우 선임연구원 연구팀은 AI가 공정진단 결과를 기반으로 2D 반도체 공정을 자율적으로 분석하고 제어하는 지능화 시스템을 개발했다고 17일 밝혔다.

연구팀은 플라즈마 기반 통합 공정에 AI를 접목해 공정 데이터를 실시간으로 해석하고 조건을 조정하도록 구현했다고 설명했다.

2D 반도체는 원자 한 층 두께로 얇아 공정 과정에서 미세한 변화에도 특성이 크게 달라진다.

이에 연구팀은 플라즈마 공정과 진단 과정을 하나로 통합하고, 여기에 AI 분석·제어 기능을 결합했다. 공정 중 발생하는 진단 데이터를 AI가 해석해 상태를 판단하고, 그 결과에 따라 공정 변수를 조정하는 구조다.

해당 시스템은 공정진단 결과를 토대로 AI가 스스로 분석과 제어를 수행한다고 연구팀은 전했다.

이를 통해 원자층 수준의 정밀 제어가 요구되는 차세대 반도체 공정에서 사람의 개입을 줄일 수 있을 것으로 전해진다.

기술 관련 문의는 기계연 반도체장비연구센터 김형우 선임연구원을 통해 가능하다.